Leckagerate im Vakuumsystem Leckagerate ist mehr als nur ein Messwert Die Leckagerate ist kein konstanter Wert. Druck, Temperatur, Gasart und Position eines Lecks bestimmen, wie viel Gas in ein Vakuumsystem gelangt – und beeinflussen damit Prozessstabilität und Auslegung. Redaktion Produktion 27. August 2026